共聚焦拉曼光譜儀六大創(chuàng)新：
1、靈敏度遠(yuǎn)高于其它同類拉曼譜儀，模塊化設(shè)計(jì)，波長可任意選擇，配置靈活，升級(jí)容易。
2、儀器精度和重復(fù)性比市場(chǎng)同類光譜儀提高了一個(gè)數(shù)量級(jí)，所有馬達(dá)帶動(dòng)的機(jī)械傳動(dòng)部件均采用光柵尺自動(dòng)反饋控制。
3、可一次連續(xù)掃描大范圍的光譜()，無需接譜，無需使用低分辨率光柵。
4、受保護(hù)的的顯微共焦設(shè)計(jì)系統(tǒng)，可連續(xù)調(diào)節(jié)共焦深度，并大大提高了儀器的光通量和穩(wěn)定性。
5、受保護(hù)的拉曼或熒光信號(hào)整體一次直接成像，迅速獲得材料的空間分布。
6、與多種掃描探針顯微鏡（SPM）聯(lián)用，如AFM、SNOM、CLSM等，可同時(shí)獲取微區(qū)原位的形貌、結(jié)構(gòu)和化學(xué)的信息。
共聚焦拉曼光譜儀優(yōu)勢(shì)：
1.高分辨：
共聚焦拉曼光譜儀具有800毫米的光譜儀焦長，其所能達(dá)到的分辨率約為標(biāo)準(zhǔn)300毫米焦長拉曼譜儀的3倍，比250毫米焦長的老式設(shè)計(jì)拉曼譜儀更高。從下圖可以清楚地看到，用高分辨率系統(tǒng)采集的譜圖有更多的數(shù)據(jù)點(diǎn)，在進(jìn)行微小的拉曼峰移分析時(shí)，比短焦長系統(tǒng)準(zhǔn)確的多。同樣，用HR系統(tǒng)能更準(zhǔn)確地給出拉曼譜峰的峰形這一重要的參數(shù)，峰位和峰形都能表征重要的樣品變化。
2.*的靈活性：
共聚焦拉曼光譜儀另一個(gè)*的優(yōu)勢(shì)就是可在系統(tǒng)中配備一個(gè)附加出口。用雙出口選項(xiàng)，可多配備一個(gè)紅外 InGaAs陣列，ICCD， PMT或其它專業(yè)單道探測(cè)器。實(shí)際上，該系統(tǒng)有很寬的激光光源適應(yīng)能力和多探測(cè)器選項(xiàng)，能提供很寬的光譜范圍或進(jìn)行時(shí)域分析。
近紅外探測(cè)器對(duì)于 在 830納米或 1064納米激發(fā)下的發(fā)光測(cè)量（例如對(duì)于半導(dǎo)體材料）和拉曼分析等特別有用。這兩種應(yīng)用下的光譜都在標(biāo)準(zhǔn)硅器件 CCD探測(cè)器的測(cè)量范圍之外，例如，一些重要的 III－ V族半導(dǎo)體材料的重要信息在 1100納米和 1300納米區(qū)域，不在硅器件的敏感探測(cè)區(qū)。用其它的探測(cè)器（如 InGaAs或 Ge探測(cè)器）， 就很容易實(shí)現(xiàn)這個(gè)區(qū)域的測(cè)量.
3.應(yīng)力引起的拉曼位移：
共聚焦拉曼光譜儀是一種理想的應(yīng)用測(cè)量工具。左圖中 固體相硅應(yīng)力拉曼分析表明可識(shí)別出 0.3cm-1 的拉曼峰移。半導(dǎo)體器件中的新型SOI和SiGe薄膜具有類似的小峰位和峰形改變，非常適合用共聚焦拉曼光譜儀進(jìn)行測(cè)量。
